Нанотехнология: физика, процессы, диагностика, приборы

Монография «Нанотехнология» подготовлена коллективом авторов на основе исследований и разработок, выполненныхн а кафедре микроэлектроники и в Центре микротехнологии и диагностики Санкт-Петербургского государственного электротехнического университета. Систематически излагается материал, охватывающий проблемы физики квантоворазмерныхн еорганических и биоорганических наноструктур; процессы нанотехнологии, ориентированные на формирование нанослойных систем и нанокомпозиций неорганической и органической природы, а также 3D-обработку с использованием наноразмерныхпучк ов. Рассмотрены электронографический, оптические, электрические, электронно- и атомно-зондовые методы диагностики нанокомпозиций и анализа поверхности твердого тела с наноразмерным разрешением. Представлены практические результаты создания реальныхв остребованных устройств оптоэлектроники, микро- и наносистем- ной техники на основе гетеронаноструктур, нанопористых и наноструктурированныхм атериалов, наноразмерныхо рганическихи неорганических мембран. Значительное внимание уделено микро- и наноаналитическим системам для экспресс-анализа наноколичеств вещества и контроля биоорганическихм акро- молекул и комплексов. Для научныхр аботников и инженеров, занимающихся нанотехнологиями. Может быть полезна для подготовки специалистов, магистров и аспирантов по направлениям: «Нанотехнология» и «Электроника и микроэлектроника»